OPC accuracy improvement through deep-learning based etch model

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标题	OPC accuracy improvement through deep-learning based etch model
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2613926
DOI	10.1117/12.2613926 doi
其它	期刊：Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XI 作者：Weina Shi; Liang Zhu; Yuqian chen; Jiao Huang; Jinze Wang; et al 出版日期：2022-05-25
求助人	tester_gater 在 2026-07-02 13:59:20 发布自上海，悬赏 20 积分
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