Growth of Atomic layer-deposited Monoclinic Molybdenum Dioxide Films Stabilized by Tin Oxide Doping for DRAM Capacitor Electrode Applications

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标题	Growth of Atomic layer-deposited Monoclinic Molybdenum Dioxide Films Stabilized by Tin Oxide Doping for DRAM Capacitor Electrode Applications
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.4c03158
DOI	10.1021/acsami.4c03158 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Jae Hyeon Lee; Wangu Kang; Jeong Eun Shin; Bo Keun Park; Taek-Mo Chung; Jeong Hwan Han 出版日期：2024
求助人	ADChem_JH 在 2026-05-22 17:33:46 发布自安徽，悬赏 10 积分
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