Projection-based high coverage fast layout decomposing algorithm of metal layer for accelerating lithography friendly design at full chip level

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标题	Projection-based high coverage fast layout decomposing algorithm of metal layer for accelerating lithography friendly design at full chip level 相关领域计算机科学平版印刷术材料科学制作覆盖平面的光电子学炸薯条算法
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.20.1.013401
DOI	10.1117/1.jmm.20.1.013401 doi
其它	期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Xiaojing Su; Dong Shen; Yayi Wei; Yajuan Su; Lisong Dong; et al 出版日期：2021-03-23
求助人	always 在 2023-03-29 10:02:21 发布自北京，悬赏 10 积分
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