Effects of polishing parameters on surface quality in sapphire double-sided CMP - 科研通

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标题	Effects of polishing parameters on surface quality in sapphire double-sided CMP 抛光参数对蓝宝石双面CMP表面质量的影响相关领域抛光材料科学薄脆饼蓝宝石研磨表面粗糙度化学机械平面化表面光洁度复合材料光学光电子学物理激光器
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2020.02.116
DOI	10.1016/j.ceramint.2020.02.116 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Zhongyang Li; Zhaohui Deng; Yangxuan Hu 出版日期：2020-06-01
求助人	yyy 在 2024-01-11 21:07:19 发布自山西，悬赏 10 积分
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