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标题
Deposition and integration of aluminum nitride as interlayer dielectric for heat dissipation of 3D-ICs
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004966
DOI
10.1116/6.0004966 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：T. Ninomiya; T. Takagi; Komatsu E; M. Niwa; Kuroda T
出版日期：2025-11-17
求助人
hk666 在 2025-11-18 13:51:43 发布自江苏，悬赏 30 积分
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