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标题
Low-stress MOCVD-grown 15 μm GaN layers on 200 mm engineered substrates with minimal wafer bow
相关领域
材料科学 光电子学 化学气相沉积 薄脆饼 外延 基质(水族馆) 图层(电子) 宽禁带半导体 残余应力 氮化镓 氮化物 压力(语言学) 堆栈(抽象数据类型) 兴奋剂 晶体管 晶片键合 金属有机气相外延 沉积(地质) 功率半导体器件
网址
DOI
10.1063/5.0312962 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Kwang Jae Lee; Jawad Hadid; Sourish Banerjee; Thomas Nuytten; Ravikiran Lingaparthi; et al
出版日期:2025-12-18
求助人
conlensce 在 2026-01-19 09:30:19 发布自江苏,悬赏 10 积分
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