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 Low-stress MOCVD-grown 15 μm GaN layers on 200 mm engineered substrates with minimal wafer bow 相关领域
材料科学
光电子学
化学气相沉积
薄脆饼
外延
基质（水族馆）
图层（电子）
宽禁带半导体
残余应力
氮化镓
氮化物
压力（语言学）
堆栈（抽象数据类型）
兴奋剂
晶体管
晶片键合
金属有机气相外延
沉积（地质）
功率半导体器件
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Kwang Jae Lee; Jawad Hadid; Sourish Banerjee; Thomas Nuytten; Ravikiran Lingaparthi; et al 出版日期：2025-12-18 |
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