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Study of the Processes of Forming a Metal Coating by Cold Gas-Dynamic Sputtering and Development of a Technique for Calculating Sputtering Modes 冷气动力溅射金属镀层形成过程的研究及溅射模式计算技术的发展
相关领域
溅射
材料科学
涂层
金属
溅射沉积
冶金
复合材料
薄膜
纳米技术
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| 其它 |
期刊:METALLOFIZIKA I NOVEISHIE TEKHNOLOGII 作者:O. L. Haydamak; V. F. Hraniak 出版日期:2024-03-13 |
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