Parameters and Composition of Plasma in a Mixture of HBr + O2: Model Adjustment and Comparison with Experiment

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标题	Parameters and Composition of Plasma in a Mixture of HBr + O2: Model Adjustment and Comparison with Experiment
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S1063739725602...
DOI	10.1134/s1063739725602024 doi
其它	期刊：Russian Microelectronics 作者：M. V. Tsepkin; A. M. Efremov; V. B. Betelin; K.-H. Kwon 出版日期：2026-05-26
求助人	moose 在 2026-11-03 11:24:33 发布自上海，悬赏 10 积分
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