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 Comparison of two types of silicon nitride grating couplers for 1550nm wavelength with slots and square holes and different deposition methods 相关领域
材料科学
波长
栅栏
平方（代数）
光电子学
硅
沉积（地质）
氮化硅
光学
衍射光栅
物理
几何学
沉积物
数学
生物
古生物学
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| DOI |
10.1117/12.3056339
doi
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| 其它 |
期刊：Integrated Optics: Design, Devices, Systems, and Applications VIII 作者：Anne-Katrin Schumann; Julia Wecker; Franz Tank; Chris Stöckel; Karla Hiller; et al 出版日期：2025-06-05 |
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