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From the Bottom-Up: Toward Area-Selective Atomic Layer Deposition with High Selectivity
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DOI
10.1021/acs.chemmater.8b03454 doi
其它 期刊:Chemistry of Materials
作者:Adriaan J. M. Mackus; Marc J. M. Merkx; W. M. M. Kessels
出版日期:2018-12-19
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迟成涛 在 2026-10-31 11:42:05 发布自中国,悬赏 10 积分
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