Fabrication of Silicon on Diamond (SOD) substrates by either the Bonded and Etched-back SOI (BESOI) or the Smart-Cut™ technology - 科研通

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标题	Fabrication of Silicon on Diamond (SOD) substrates by either the Bonded and Etched-back SOI (BESOI) or the Smart-Cut™ technology 通过键合和回蚀刻SOI(BESOI)或智能切割™技术制备金刚石上硅(SOD)衬底相关领域钻石材料科学化学机械平面化绝缘体上的硅化学气相沉积硅图层（电子）基质（水族馆）光电子学制作蚀刻（微加工）表面粗糙度纳米技术表面光洁度金刚石材料性能复合材料海洋学地质学病理替代医学医学
网址	https://doi.org/10.1016/j.sse.2009.12.012
DOI	10.1016/j.sse.2009.12.012 doi
其它	期刊：Solid-State Electronics 作者：J. Widiez; Marc Rabarot; Badreddine Assouar; Jean‐Paul Mazellier; J. Dechamp; et al 出版日期：2010-02-01
求助人	沉淀在 2024-09-17 16:57:06 发布自澳大利亚，悬赏 10 积分
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