Recent Advance in Preparation and Ultra-precision Machining of New Generation Semiconductor Material of β-Ga2O3 Single Crystals

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标题	Recent Advance in Preparation and Ultra-precision Machining of New Generation Semiconductor Material of β-Ga2O3 Single Crystals 新一代半导体材料β-Ga2O3单晶的制备与超精密加工研究进展相关领域机械加工材料科学半导体半导体材料半导体工业光电子学工程物理纳米技术冶金制造工程工程类
网址	https://doi.org/10.3901/jme.2021.09.213
DOI	10.3901/jme.2021.09.213 doi
其它	期刊：Journal of Mechanical Engineering 作者：出版日期：2021-01-01
求助人	憨憨在 2025-12-12 19:35:11 发布自上海，悬赏 10 积分
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