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 Growth of ZnO thin films at low temperature by plasma-enhanced atomic layer deposition using H2O and O2 plasma oxidants H2O和O2等离子体氧化剂等离子体增强原子层沉积低温生长ZnO薄膜
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期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者：Jhonathan Castillo‐Saenz; N. Nedev; Benjamín Valdez; Marcelo A. Martínez-Puente; F. S. Aguirre‐Tostado; et al 出版日期：2021-07-09 |
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