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 Design of a compact long-stroke high-precision rigid-flexible coupling motion stage driven by linear motor 直线电机驱动的紧凑型长行程高精度刚柔耦合运动台设计
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期刊：Journal of Mechanical Science and Technology 作者：Liyun Su; Guanxin Huang; Ruirui Huang; Zhijun Yang 出版日期：2022-12-01 |
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