The Technique of thin Zinc Oxide Films Synthesis by ALD Method

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标题	The Technique of thin Zinc Oxide Films Synthesis by ALD Method 相关领域材料科学微晶原子层沉积锌无定形固体沉积（地质）带隙薄膜吸收（声学）光电子学图层（电子）原子力显微镜氧化物辐照纳米技术化学工程复合材料冶金结晶学化学核物理学古生物学工程类物理生物沉积物
网址	https://doi.org/10.3103/s1052618820100064
DOI	10.3103/s1052618820100064 doi
其它	期刊：Journal of Machinery Manufacture and Reliability 作者：O. I. Kulakov 出版日期：2020-12-01
求助人	赌书泼茶在 2025-10-15 10:32:53 发布自北京，悬赏 10 积分
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