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The Technique of thin Zinc Oxide Films Synthesis by ALD Method

材料科学微晶原子层沉积锌无定形固体沉积（地质）带隙薄膜吸收（声学）光电子学图层（电子）原子力显微镜氧化物辐照纳米技术化学工程复合材料冶金结晶学化学古生物学物理沉积物核物理学生物工程类

作者

O. I. Kulakov

出处

期刊：Journal of Machinery Manufacture and Reliability [Pleiades Publishing]
日期：2020-12-01 卷期号：49 (10): 884-889

标识

DOI：10.3103/s1052618820100064

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