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Characterization of Dielectric Relaxation and Reliability of High-k MIM Capacitor Under Constant Voltage Stress 相关领域
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期刊:JSTS Journal of Semiconductor Technology and Science 作者:Ho‐Young Kwak; Sung-Kyu Kwon; Hyuk-Min Kwon; Seung-Yong Sung; Su Lim; et al 出版日期:2014-10-30 |
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