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 Photolithographic fabrication of gated self-aligned parallel electron beam emitters with a single-stranded carbon nanotube 单链碳纳米管栅自对准平行电子束发射器的光刻制作
相关领域
材料科学
碳纳米管
薄脆饼
共发射极
纳米技术
蚀刻（微加工）
化学气相沉积
场电子发射
反应离子刻蚀
硅
光电子学
等离子体增强化学气相沉积
图层（电子）
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物理
量子力学
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期刊：Nanotechnology 作者：Justin Ho; Takahito Ono; Ching-Hsiang Tsai; Masayoshi Esashi 出版日期：2008-07-28 |
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