Aqueous developers for positive tone ultrathin chemically amplified EUV resists

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标题	Aqueous developers for positive tone ultrathin chemically amplified EUV resists 相关领域抵抗溶解极紫外光刻光刻胶石英晶体微天平材料科学水溶液基质（水族馆）聚合物纳米技术化学工程化学吸附复合材料图层（电子）有机化学工程类地质学海洋学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2297380
DOI	10.1117/12.2297380 doi
其它	期刊：作者：Bharat Kumar; Darı́o L. Goldfarb 出版日期：2018-03-28
求助人	酷炫念柏在 2025-10-30 20:06:02 发布自上海，悬赏 30 积分
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