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  Study of Laser Backside Ohmic Contact Formation of SiC-Ni Interface to Evaluate the Process Influence on the Electrical Characteristics SiC-Ni界面激光背面欧姆接触形成研究以评估工艺对电学特性的影响
相关领域
材料科学
欧姆接触
激光器
薄脆饼
光电子学
纳秒
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期刊：Materials science forum 作者：Dirk Lewke; Frank Supplieth; Maik von Ringleben; John Ransom 出版日期：2022-05-31 |
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