Single-axis gold micro-electro-mechanical-systems capacitive accelerometer with circular proof-mass for suppressing warpage

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标题	Single-axis gold micro-electro-mechanical-systems capacitive accelerometer with circular proof-mass for suppressing warpage
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/ae4687
DOI	10.35848/1347-4065/ae4687 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Masako Okumura; Tomoyuki Kurioka; Torauto Yamada; Tatsuhiko Mori; Katsuyuki Machida; et al 出版日期：2026-02-17
求助人	爱科研在 2026-03-13 23:06:25 发布自山东，悬赏 10 积分
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