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 Highly Sensitive Graphene MEMS Pressure Sensor with Integrated Membrane and Cross-Beam with Cavity for Extended Pressure Range Testing 相关领域
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期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Haiyang Li; Yipeng Wang; Yonghong Cao; Mengwei Li; Shengsheng Wei; Junqiang Wang 出版日期：2025-04-18 |
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