Influences of rapid thermal process on solution-deposited Ti-silicate/Si films: Phase segregation, composition and interface changes, and dielectric properties

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标题	Influences of rapid thermal process on solution-deposited Ti-silicate/Si films: Phase segregation, composition and interface changes, and dielectric properties
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025405841...
DOI	10.1016/j.matchemphys.2014.01.055 doi
其它	期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Seung Muk Lee; Soo Min Hwang; Soon Yong Hwang; Tae Woong Kim; Sang Hyub Lee; et al 出版日期：2014-02-22
求助人	干秋白在 2026-03-19 20:54:00 发布自江苏，悬赏 10 积分
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