Stress control in thick hydrogenated amorphous carbon films to mitigate stress-induced defects in semiconductor processes

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标题	Stress control in thick hydrogenated amorphous carbon films to mitigate stress-induced defects in semiconductor processes
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2025.140635
DOI	10.1016/j.tsf.2025.140635 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Myung Mo Ahn; Se Jun Park; Boyoung Shim; Seungmin Moon; Song Yi Baek; et al 出版日期：2025
求助人	PhysicsXX 在 2026-03-19 15:59:26 发布自北京，悬赏 10 积分
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