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标题
hν-MacEtch of Al-rich AlGaN: Enabling plasma-free processing in the ultra-wide-bandgap regime
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蚀刻（微加工） 欧姆接触 材料科学 光电子学 感应耦合等离子体 氧化物 反应离子刻蚀 氮化物 纳米技术 数码产品 接触电阻 宽禁带半导体 干法蚀刻 过程（计算） 带隙 电子工程 工程物理 各向同性腐蚀 等离子体 等离子体刻蚀 表征（材料科学） 原子力显微镜 咬边 电接点
网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0005575
DOI
10.1116/6.0005575 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Xihang Wu; Yuyao Wang; Gavin Latham; Aadil Waseem; Xiuling Li
出版日期：2026-07-22
求助人
木子 在 2026-08-26 09:33:38 发布自陕西，悬赏 10 积分
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