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标题
Key process steps for high performance and reliable 3D Sequential Integration
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7989855/7998120/07998181...
DOI
10.23919/vlsit.2017.7998181 doi
其它 期刊：Symposium on VLSI Technology
作者：C.-M. V. Lu; F. Deprat; C. Fenouillet-Béranger; P. Batude; X. Garros; et al
出版日期：2017-06-01
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科研浦东 在 2026-09-11 21:17:12 发布自江苏，悬赏 10 积分
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