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 Realization of controllable etching for ZnO film by NH4Cl aqueous solution and its influence on optical and electrical properties 相关领域
蚀刻（微加工）
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jingchang Sun; Jiming Bian; Hongwei Liang; Jianze Zhao; Lizhong Hu; et al 出版日期：2007-03-01 |
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