发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Pattern decomposition and process integration of self-aligned double patterning for 30nm node NAND FLASH process and beyond
相关领域
多重图案 浸没式光刻 与非门 平版印刷术 计算机科学 覆盖 闪光灯（摄影） 过程（计算） 节点（物理） 过程集成 集成电路 计算机硬件 材料科学 电子工程 逻辑门 光电子学 抵抗 纳米技术 工程类 光学 物理 图层（电子） 程序设计语言 操作系统 结构工程 工艺工程 算法
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.814000
DOI
10.1117/12.814000 doi
其它 期刊：SPIE Proceedings
作者：Yi-Shiang Chang; Meng-Feng Tsai; Chia-Chi Lin; Jun-Cheng Lai
出版日期：2009-03-13
求助人
你嵙这个期刊没买 在 2026-08-29 09:02:54 发布自中国，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. The study of overlay mark in self aligned double patterning and solution
  2. Immersion lithography and double patterning in advanced microelectronics
  3. Double patterning lithography study with high overlay accuracy
  4. Enabling immersion lithography and double patterning
  5. Advanced resist process enabling implementation of CD controllability for 32 nm and beyond
  6. Basic studies of overlay performance on immersion lithography tool
  7. Double patterning overlay and CD budget for 32 nm technology node
  8. Double patterning combined with shrink technique to extend ArF lithography for contact holes to 22nm...
  9. Double patterning for 32nm and below: an update
  10. Lithography Options for the 32 nm Half Pitch Node and Beyond
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 2小时前

    科研通AI6.4 科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 12.814000.pdf (803.32 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 2小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    09:02:57 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    09:02:54 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    09:02:54 已向机器人发送请求

  • 2小时前

    你嵙这个期刊没买 你嵙这个期刊没买 Lv8 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
等待的大炮完成签到，获得积分10
刚刚
独特乘云完成签到，获得积分10
刚刚
1秒前
SciGPT的应助被wu采纳，获得10
2秒前
小罗完成签到，获得积分10
2秒前
顾思凡发布了新的文献求助10
3秒前
sun发布了新的文献求助10
3秒前
科研通AI6.4的应助被房子采纳，获得30
4秒前
4秒前
4秒前
丸子发布了新的文献求助10
8秒前
peppa发布了新的文献求助10
9秒前
科研通AI6.2的应助被qiuzhu_采纳，获得10
9秒前
9秒前
Molly完成签到 ，获得积分10
10秒前
雪山飞龙发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
啦啦啦完成签到，获得积分10
11秒前
wu完成签到，获得积分10
12秒前
14秒前
Jasper的应助被飘逸紫翠采纳，获得10
14秒前
wu发布了新的文献求助10
15秒前
执着涵柳完成签到 ，获得积分10
15秒前
15秒前
木齐Jay完成签到，获得积分10
15秒前
yang发布了新的文献求助10
15秒前
16秒前
科研通AI6.4的应助被丸子采纳，获得10
16秒前
出师未捷变shit完成签到，获得积分10
17秒前
sb完成签到，获得积分10
18秒前
19秒前
罪之修发布了新的文献求助10
19秒前
靓丽雨梅发布了新的文献求助10
21秒前
21秒前
21秒前
22秒前
22秒前
科研混子完成签到，获得积分10
23秒前
大个的应助被还行啊采纳，获得10
23秒前
小兔子乖乖完成签到 ，获得积分10
24秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
China Pluperfect I: Epistemology of Past and Outside in Chinese Art 520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
Cosmos as Art Object: Studies in Plato's Timaeus and Other Dialogues 500
What is the Future of Psychotherapy in Digital Age? Technology, AI Bots, and Psychotherapy after Covid 444
Management and the Arts 310
Teaching Social and Emotional Learning in Physical Education 300
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7635433
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9209351
关于积分的说明 19751753
捐赠科研通 7203198
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3275186
关于科研通互助平台的介绍 2437051
邀请新用户注册赠送积分活动 2272233
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通