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Wet etching mechanisms of ITO films in oxalic acid 草酸中ITO薄膜的湿法刻蚀机理
相关领域
草酸
氧化铟锡
蚀刻(微加工)
溶解
化学
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期刊:Microelectronic Engineering 作者:Tzu-Hsuan Tsai; Yung‐Fu Wu 出版日期:2006-03-01 |
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