标题 |
![]() 采用高k栅介质的金属氧化物半导体结构晶体管中的远声子散射研究进展
相关领域
声子散射
散射
材料科学
声子
电子迁移率
光电子学
电介质
凝聚态物理
半导体
栅氧化层
晶体管
载流子散射
栅极电介质
高-κ电介质
MOSFET
物理
光学
量子力学
电压
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of vacuum science and technology 作者:Yuanxiao Ma; Hui Su; Wing Man Tang; P. T. Lai 出版日期:2023-11-02 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|