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 Spectral imaging characterization of quartz MOEM tunable Fabry-Perot filter 石英MOEM可调谐Fabry-Perot滤波器的光谱成像表征
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期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Neelam Gupta 出版日期：2012-07-16 |
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