Atomic layer deposition of zinc oxide films on lateral high-aspect-ratio test structures using diethylzinc and water as precursors

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标题	Atomic layer deposition of zinc oxide films on lateral high-aspect-ratio test structures using diethylzinc and water as precursors
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00049...
DOI	10.1116/6.0004982 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Eero Haimi; Anish Philip; Jorge A. Velasco; Feng Gao; Maarit Karppinen; Riikka L. Puurunen 出版日期：2026-03-04
求助人	CCC 在 2026-03-27 20:37:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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