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 70‐2: Invited Paper: Advanced Oxide TFT Technology for OLED Display by Applying ALD Process 相关领域
薄膜晶体管
材料科学
光电子学
AMOLED公司
有机发光二极管
原子层沉积
氧化物
可靠性（半导体）
过程（计算）
晶体管
氧化物薄膜晶体管
可控性
栅氧化层
有源矩阵
图层（电子）
二极管
绝缘体（电）
电子工程
等效氧化层厚度
溶解过程
进程窗口
频道（广播）
逻辑门
制作
高-κ电介质
高分辨率
薄膜
CMOS芯片
纳米技术
纳米电子学
过程控制
过程开发
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期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers 作者：Seung-Chan Choi; Kyung-Chul Ok; Jung-Seok Seo; Jae-Man Jang; Jae-Yoon Park; et al 出版日期：2025 |
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(2025-6-4)
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