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标题
Characterization of anisotropic wet etching of Gallium Nitride for surface orientations of the <0001> crystallographic zone in H3PO4 etchant
氮化镓在H3PO4蚀刻剂中<0001>晶区表面取向的各向异性湿法蚀刻表征
相关领域
蚀刻（微加工） 材料科学 氮化镓 Crystal（编程语言） 各向异性 表面粗糙度 镓 表面光洁度 各向同性腐蚀 基质（水族馆） 氮化物 体积流量 结晶学 分析化学（期刊） 纳米技术 复合材料 冶金 化学 光学 图层（电子） 地质学 热力学 物理 程序设计语言 色谱法 计算机科学 海洋学
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2023.114176
DOI
10.1016/j.sna.2023.114176 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A Physical
作者：Yangping Chen; Yan Xing; J.T. Gong; Qi Li; Xijin Guo
出版日期：2023-01-16
求助人
科里斯皮尔 在 2025-12-03 21:20:10 发布自上海，悬赏 10 积分
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