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 The effect of two ECR zones on dual frequency inductively coupled plasma using a gradient DC magnetic field 相关领域
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Yilang Jiang; You He; Min-Seok Kim; Myoung-Jae Lee; Ju-Ho Kim; et al 出版日期：2025-06-02 |
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(2025-6-4)
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