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  Effects of Cl passivation on Al2O3/GaN interface properties Cl钝化对Al2O3/GaN界面性能的影响
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Taisei Nagai; Noriyuki Taoka; Akio Ohta; Katsunori Makihara; Seiichi Miyazaki 出版日期：2022-05-26 |
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