Monodispersed mesoporous silica (mSiO2) spheres as abrasives for improved chemical mechanical planarization performance

已完结

文献求助详情

标题	Monodispersed mesoporous silica (mSiO2) spheres as abrasives for improved chemical mechanical planarization performance 单分散介孔二氧化硅（mSiO2）球作为改善化学机械平坦化性能的磨料相关领域材料科学正硅酸乙酯化学机械平面化扫描电子显微镜表面粗糙度介孔二氧化硅介孔材料介孔有机硅化学工程分析化学（期刊）透射电子显微镜傅里叶变换红外光谱纳米技术抛光复合材料色谱法化学有机化学工程类催化作用
网址	https://doi.org/10.1007/s10853-016-9882-y
DOI	10.1007/s10853-016-9882-y doi
其它	期刊：Journal of Materials Science 作者：Chen Yang; Zefeng Li; Jiawei Qin; Ailian Chen 出版日期：2016-03-11
求助人	ibigbird 在 2026-01-02 17:57:52 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

National Center for Biotechnology Information

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: HUHU发布了新的文献求助10

2秒前; 科研通AI6的应助被四体不勤采纳，获得10

2秒前; 科研王完成签到，获得积分10

3秒前; 柯柯完成签到，获得积分10

3秒前; Ava的应助被星辰坠于海采纳，获得10

4秒前; bkagyin上传了应助文件

4秒前; 科研版小鱼发布了新的文献求助10

4秒前; 颜三问完成签到，获得积分10

7秒前; 俊秀的千万完成签到，获得积分10

7秒前; SciGPT上传了应助文件

7秒前; 逆袭者完成签到，获得积分10

8秒前; 勤恳雅莉的应助被kkk采纳，获得10

8秒前; 热心弱发布了新的文献求助10

9秒前; HUHU完成签到，获得积分10

10秒前; xzy998的应助被ccyy采纳，获得10

11秒前; 浮游上传了应助文件

11秒前; 三卡车安排你发布了新的文献求助10

11秒前; 香蕉诗蕊举报大方元风的求助涉嫌违规

13秒前; 科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10

14秒前; 思源的应助被科研通管家采纳，获得10

14秒前; 大个的应助被科研通管家采纳，获得10

14秒前; 科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10

14秒前; 科研通管家关闭了务实听兰的文献求助

14秒前; 科研通管家关闭了张三的文献求助

14秒前; Juid的应助被科研通管家采纳，获得40

14秒前; 李不笑发布了新的文献求助10

14秒前; 潇洒的夏烟完成签到，获得积分10

15秒前; spc68的应助被yyanxuemin919采纳，获得10

16秒前; 一er完成签到，获得积分20

17秒前; Ava的应助被beyonder采纳，获得10

17秒前; 科研通AI6上传了应助文件

17秒前; 起床做核酸完成签到，获得积分10

18秒前; spc68上传了应助文件

20秒前; 科研通AI6上传了应助文件

22秒前; ding的应助被honey采纳，获得30

23秒前; 三卡车安排你完成签到，获得积分10

24秒前; 华仔上传了应助文件

26秒前; 天份完成签到，获得积分10

28秒前; JJ完成签到，获得积分10

29秒前; 感性的馒头发布了新的文献求助10

30秒前