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标题
Atomic Layer Deposition of Ruthenium Thin Films from (Ethylbenzyl) (1-Ethyl-1,4-cyclohexadienyl) Ru: Process Characteristics, Surface Chemistry, and Film Properties
网址
http://dx.doi.org/10.1021/acs.chemmater.6b05437
DOI
10.1021/acs.chemmater.6b05437 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Mihaela Popovici; Benjamin Groven; Kristof Marcoen; Quan Manh Phung; Shibesh Dutta; et al
出版日期：2017-05-31
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张行 在 2026-09-11 21:38:39 发布自上海，悬赏 10 积分
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