Numerical analysis of pattern shape deformation in UV imprint considering thermal deformation with UV shrinkage and curing

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标题	Numerical analysis of pattern shape deformation in UV imprint considering thermal deformation with UV shrinkage and curing
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/doi/10.1116/6.00008...
DOI	10.1116/6.0000817 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Y. Onishi; Ryunosuke Yamashita; K. Amaya; Y. Hirai 出版日期：2021-02-05
求助人	读研的牛马在 2026-07-14 11:56:33 发布自广东，悬赏 10 积分
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