Effects of AlN buffer layer thickness on the crystallinity and surface morphology of 10-µm-thick a-plane AlN films grown on r-plane sapphire substrates

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标题	Effects of AlN buffer layer thickness on the crystallinity and surface morphology of 10-µm-thick a-plane AlN films grown on r-plane sapphire substrates
网址	http://dx.doi.org/10.7567/apex.9.081001
DOI	10.7567/apex.9.081001 doi
其它	期刊：Applied Physics Express 作者：Chia-Hung Lin; Shinya Tamaki; Yasuhiro Yamashita; Hideto Miyake; Kazumasa Hiramatsu 出版日期：2016-06-29
求助人	oTuTo 在 2026-09-09 10:33:28 发布自北京，悬赏 10 积分
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