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  Phase noise estimation based white light scanning interferometry for high-accuracy surface profiling 相关领域
光学
白光干涉法
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计算机科学
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互相关
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| DOI |
10.1364/oe.451746
doi
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期刊：Optics Express 作者：Long Ma; Yuan Zhao; Xin Pei; Yu-zhe Liu; Feng-ming Sun; et al 出版日期：2022-03-25 |
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