Effect of dehydrogenation on optical constants of silicon nitride thin films

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标题	Effect of dehydrogenation on optical constants of silicon nitride thin films
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092534672...
DOI	10.1016/j.optmat.2023.114480 doi
其它	期刊：Optical materials (Amsterdam) 作者：G. Lavareda; Y. Vygranenko; A. Amaral; P. Brogueira 出版日期：2023-11-01
求助人	winne 在 2026-09-16 15:31:19 发布自北京，悬赏 10 积分
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