Atomic layer deposition of MoOx thin films using Mo(iPrCp)2H2 and O3

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标题	Atomic layer deposition of MoOx thin films using Mo(iPrCp)2H2 and O3
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002436
DOI	10.1116/6.0002436 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Ethan Hendrix; Ben M. Garland; Vamseedhara Vemuri; Nicholas C. Strandwitz 出版日期：2023-04-26
求助人	找不到在 2026-09-20 16:23:46 发布自福建，悬赏 10 积分
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