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标题
Atomistic insights into shell-modulated interfacial interactions of core-shell SiO2@organic polymer abrasives for silicon chemical mechanical polishing
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002197972...
DOI
10.1016/j.jcis.2026.141425 doi
其它 期刊：Journal of Colloid and Interface Science
作者：Man Zhang; Gaopan Chen; Guoshun Pan; Dan Guo; Koucheng Zuo
出版日期：2026-08-25
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超级寒凝 在 2026-09-18 16:23:13 发布自山东，悬赏 10 积分
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