| 标题 |
High aspect ratio and damage-free multifocal femtosecond-laser stealth dicing towards wafer-scale GaN-based mini-LEDs |
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| DOI |
10.1364/oe.558548
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| 其它 |
期刊:Opt Express 作者:Lin Z, Lai S, Zheng L, Cai S, Xiong H, Kuo H, Lu Y, Wu T, Chen Z 出版日期:2025-04-01 |
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(2025-6-4)