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标题
Study of the beam blur and its effect on the future mask fabrication
光束模糊及其对未来掩模制作影响的研究
相关领域
抵抗 制作 光学 梁（结构） 电子束光刻 材料科学 图像质量 光电子学 物理 图像（数学） 计算机科学 纳米技术 人工智能 病理 图层（电子） 医学 替代医学
网址
https://doi.org/10.1117/12.686472
DOI
10.1117/12.686472 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Sang-Hee Lee; Sungho Park; Mihye Ahn; Jonggul Doh; Sungyoon Kim; et al
出版日期：2006-10-06
求助人
jun 在 2025-02-13 17:03:21 发布自安徽，悬赏 20 积分
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  • 8个月前

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