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 Design, modeling, and analysis of a novel XY micro-displacement scanning stage with an elliptical compliant restraint mechanism 具有椭圆柔性约束机构的新型XY微位移扫描台的设计、建模与分析
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期刊：Physica scripta 作者：X Zhang; Weipeng Li; Шуай Ли; Zheng Yan 出版日期：2023-10-06 |
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