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Impact of oxygen flow rate and annealing on the structural and optical properties of HfO2 thin films
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网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10404094/10404112/104041...
DOI
10.1109/silcon59133.2023.10404147 doi
其它 期刊：2023 IEEE Silchar Subsection Conference (SILCON)
作者：Abhinav Kumar Gupta; Anushmita Pathak; S. Pandey
出版日期：2023-11-03
求助人
liu 在 2026-11-10 08:20:39 发布自湖北，悬赏 10 积分
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