Successful implementation of a MEMS micromirror array in a lithograpy illumination system

已完结

文献求助详情

标题	Successful implementation of a MEMS micromirror array in a lithograpy illumination system
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/6599514/6626676/06627329...
DOI	10.1109/transducers.2013.6627329 doi
其它	期刊：International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 作者：Wilfred Endendijk; Melchior Mulder; B. V. van Drieenhuizen 出版日期：2013-06-16
求助人	ghpi 在 2026-10-19 20:19:57 发布自四川，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 果果123发布了新的文献求助10

1秒前; OTW发布了新的文献求助10

1秒前; 度娘菲关注了科研通微信公众号

1秒前; 含糊的泥猴桃发布了新的文献求助10

1秒前; 爆米花上传了应助文件

2秒前; 华华上传了应助文件

2秒前; prigogin上传了应助文件

2秒前; ss6发布了新的文献求助10

2秒前; mmm完成签到，获得积分10

3秒前; 快乐渊思发布了新的文献求助10

4秒前; 激情的白枫完成签到，获得积分10

5秒前; pluto的应助被小神采纳，获得10

5秒前; jijiu的应助被furin001采纳，获得30

5秒前; 今后上传了应助文件

6秒前; NexusExplorer上传了应助文件

6秒前; 完美世界上传了应助文件

6秒前; yyuu发布了新的文献求助10

6秒前; 汉江小白杨完成签到，获得积分10

6秒前; 万能图书馆的应助被梨花采纳，获得10

7秒前; 小蘑菇的应助被CIAO采纳，获得10

8秒前; JamesPei上传了应助文件

8秒前; 不羡发布了新的文献求助10

10秒前; 072完成签到，获得积分10

10秒前; 周静雯上传了应助文件

11秒前; 共享精神上传了应助文件

12秒前; 冷静蜗牛关注了科研通微信公众号

12秒前; Jonna完成签到，获得积分10

12秒前; zzzy发布了新的文献求助10

12秒前; 顾矜的应助被柿子采纳，获得10

12秒前; 星辰大海上传了应助文件

13秒前; Superfan发布了新的文献求助10

13秒前; 十一完成签到，获得积分20

13秒前; 完美世界上传了应助文件

14秒前; 所所上传了应助文件

14秒前; 开心开山发布了新的文献求助10

15秒前; 烟花的应助被朱泓羽采纳，获得10

15秒前; song99发布了新的文献求助30

15秒前; 万能图书馆上传了应助文件

15秒前; Waldinsamkeit发布了新的文献求助20

15秒前; 乐乐上传了应助文件

16秒前