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标题
Atomic Layer Etching of SiO2 Utilizing Ultra-Low Electron Temperature Plasma
网址
https://doi.org/10.1021/acsaelm.5c00362
DOI
10.1021/acsaelm.5c00362 doi
其它 期刊：ACS applied electronic materials
作者：Junyoung Park; Nayeon Kim; Jung‐Eun Choi; Y. K. Yeo; Min-Seok Kim; et al
出版日期：2025-05-05
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